Dizajni optik ka një gamë të gjerë aplikimesh në fushën gjysmëpërçuese. Në një makinë fotolitografie, sistemi optik është përgjegjës për përqendrimin e rrezes së dritës të emetuar nga burimi i dritës dhe projektimin e tij në meshën e silikonit për të ekspozuar modelin e qarkut. Prandaj, dizajni dhe optimizimi i përbërësve optikë në sistemin e fotolitografisë është një mënyrë e rëndësishme për të përmirësuar performancën e makinës fotolitografi. Më poshtë janë disa nga përbërësit optikë të përdorur në makinat e fotolitografisë:
Objektiv i projeksionit
01 Objektivi i projeksionit është një komponent kryesor optik në një makinë litografie, që zakonisht përbëhet nga një seri lentesh duke përfshirë lentet konveks, lentet konkave dhe prizmat.
02 Funksioni i tij është të zvogëlojë modelin e qarkut në maskë dhe ta përqendrojë atë në meshën e veshur me fotoresist.
03 Saktësia dhe performanca e objektivit të projeksionit kanë një ndikim vendimtar në zgjidhjen dhe cilësinë e imazhit të makinës litografi
Pasqyrë
01 Pasqyrapërdoren për të ndryshuar drejtimin e dritës dhe për ta drejtuar atë në vendndodhjen e duhur.
02 Në makinat e litografisë EUV, pasqyrat janë veçanërisht të rëndësishme sepse drita EUV thithet lehtësisht nga materialet, kështu që duhet të përdoren pasqyrat me reflektim të lartë.
03 Saktësia e sipërfaqes dhe qëndrueshmëria e reflektorit gjithashtu kanë një ndikim të madh në performancën e makinës litografi.
Filtër
01 Filtrat përdoren për të hequr gjatësinë e valëve të padëshiruara të dritës, duke përmirësuar saktësinë dhe cilësinë e procesit të fotolitografisë.
02 Duke zgjedhur filtrin e duhur, mund të sigurohet që vetëm drita e një gjatësi vale specifike të hyjë në makinën e litografisë, duke përmirësuar kështu saktësinë dhe qëndrueshmërinë e procesit të litografisë.
Prizmat dhe përbërësit e tjerë
Për më tepër, makina e litografisë mund të përdorë edhe përbërës të tjerë optikë ndihmës, siç janë prizmat, polarizuesit, etj., Për të përmbushur kërkesat specifike të litografisë. Përzgjedhja, hartimi dhe prodhimi i këtyre përbërësve optikë duhet të ndjekin rreptësisht standardet dhe kërkesat teknike përkatëse për të siguruar saktësinë dhe efikasitetin e lartë të makinës së litografisë.
Si përmbledhje, aplikimi i përbërësve optikë në fushën e makinave litografi synon të përmirësojë performancën dhe efikasitetin e prodhimit të makinave litografi, duke mbështetur kështu zhvillimin e industrisë së prodhimit të mikroelektronikëve. Me zhvillimin e vazhdueshëm të teknologjisë së litografisë, optimizimi dhe inovacioni i përbërësve optikë gjithashtu do të sigurojë potencial më të madh për prodhimin e çipave të gjeneratës së ardhshme.
Për më shumë njohuri dhe këshilla të ekspertëve, vizitoni faqen tonë të internetit nëhttps://www.jiujonoptics.com/Për të mësuar më shumë rreth produkteve dhe zgjidhjeve tona.
Koha e postimit: Jan-02-2025
